021年度湖南省十大技能攻關(guān)項目中的“第三代半導(dǎo)體中心配備國產(chǎn)化關(guān)鍵技能攻關(guān)”“8英寸集成電路成套配備”2個項目,均在昨日順暢通過歸納驗收。
“第三代半導(dǎo)體中心配備國產(chǎn)化關(guān)鍵技能攻關(guān)”項目由中國電子科技集團公司第四十八研究所承當(dāng)。項目突破了6英寸SiC(碳化硅)外延成長設(shè)備和高溫高能離子注入機的工藝性能、產(chǎn)能、穩(wěn)定性、可靠性提升等關(guān)鍵技能,實現(xiàn)了6英寸SiC外延成長設(shè)備、SiC高溫高能離子注入機國產(chǎn)化與工程化,設(shè)備滿足規(guī)?;慨a(chǎn)工藝要求,并具備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用能力。據(jù)悉,研發(fā)設(shè)備已成功在國內(nèi)第三代半導(dǎo)體頭部用戶上線應(yīng)用。
“8英寸集成電路成套配備”項目由中國電子科技集團公司第四十八研究所和湖南楚微半導(dǎo)體科技有限公司一起承當(dāng)。項目通過國產(chǎn)配備、工藝和產(chǎn)品協(xié)同創(chuàng)新,突破了立式爐管、硅外延設(shè)備等關(guān)鍵技能攻關(guān),完成了工藝驗證,并實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。項目已完成43臺(套)國產(chǎn)中心工藝配備上線驗證,整線工藝配備國產(chǎn)化率達95%,現(xiàn)在生產(chǎn)線已達到2萬片/月生產(chǎn)能力,芯片良品率達98%。